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干式螺桿泵是利用一對螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉而產生的吸氣和排氣作用的抽氣設備。兩螺桿經精細動平衡校正，由軸承支撐，安裝在泵殼中，螺桿與螺桿之間都有一定的間隙，因此泵工作時，相互之間無摩擦，無需潤滑油。

干式螺桿泵的特點：噪音低，抽速大；不會發生腐蝕；能抽除含有大量水蒸氣及少量粉塵的氣體場合，極限真空更高，消耗功率更低，具有節能、免維修等特點。

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由于羅茨真空泵無內壓縮，通常壓縮比很低，所以在高、中真空工作時，羅茨泵需要前級泵，或者也可將羅茨泵串聯使用。

按其用途分，羅茨真空泵主要可以分為三類：

1.普通羅茨真空泵

普通羅茨真空泵抽速從30L/s到20000L/s，包括帶溢流閥的羅茨泵和不帶溢流閥的羅茨泵。目前，普通羅茨泵廣泛應用于真空冶煉、真空鍍膜、真空浸漬、化工的蒸餾和精餾等各個領域。

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     分壓一直是用壓縮式真空計測量的，它的工作液是，考慮到環境污染，國際上非常重視限制和禁止使用的工作，我國使用行業—氯堿行業已明確污染防治的總體規劃時間表，202l-2030年為無化階段。禁止使用的時代終將來到，但到目前為止還沒有一種儀表可以取代它來直接測量分壓，因此這項工作必須抓緊進行。在現階段，建議用薄膜真空計(加冷阱)來測量分壓，或者是干脆取消分壓的考核和測量，因為分壓對用戶來說并沒有多少實用意義，國外不少公司也已取消了分壓指標。日本愛發科真空泵